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在线白光干涉测厚仪
发布时间:2022-04-19浏览次数:151

  测厚仪领域本发明涉及, 光干涉测厚仪具体涉及在线白。、探头 系统和电控系统包括框架、伺服驱动系统,向安装 在所述框架上部所述的伺服驱动系统横,统上设有探头 座所述伺服驱动系,装在探头座下方所述探头系统安,光谱仪、光漏型集光器和 冷却系统所述的探 头系统包括光源系统、hth华体会官网,有振动的情况下将反射光线收集到所述 光谱仪中所述光漏型集光器可在被测薄膜不平 整或薄膜。漏形式的集光器本发明采用光,可对

  线偏差进行有效的收集因薄膜振动产生的光,光的鲁棒性增 强了集,线测量厚度应用到生产现场进行在 线测量将以往的白光干涉测厚仪只 能在室验室离。

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